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无尘室(CleanRoom)，亦称之为无尘室或净化室。它是环境污染操纵的基本。沒有无尘室，环境污染比较敏感零件不太可能大批量生产。在FED-STD-209E里边，无尘室被界定为具有空气净化、分派、提升、结构原材料和设备的屋子，在其中特殊的标准的操作流程以操纵气体飘浮颗粒浓度值，进而做到适度的颗粒洁净度级別。无尘室就是指将一定室内空间范畴内之空气中的尘粒、危害气体、病菌等之空气污染物清除，并将房间内之温度、洁净度、房间内工作压力、气旋速度气旋遍布、噪声震动及照明灯具、静电感应操纵在某一要求范畴内，而所给与非常设计方案之屋子。
规范：
世界各地均有自设规格型号，但广泛根据美国施行的规范【FederalStandard(FS)209E,1992】，可将无尘室分成六级。分别是1级、10级、100级、1000级、10000级、100000级，假如无尘室的级别仅用细颗粒物数量来描述，则可假定细颗粒物的规格为0.5μm，比如，1级、10级、100级无尘室较大细颗粒物数量各自小于或等于1颗、10颗、100颗，假如细颗粒物规格不是0.5μm，无尘室级别应以在一特殊细颗粒物规格的等比级数来表明。比如：10级在0.2μm(细颗粒物规格在0.2μm或更大下，相对密度不超75颗/立方英寸)，1级在0.1μm(细颗粒物规格在0.1μm或更大下，相对密度不超35颗/立方英寸)。
组成：
一,隔断
二,风系统
三,水系统
四,空调控制器系统
五,别的系统
隔断：
千级无尘室隔断分成三绝大多数,更衣间,万级区和百级区,更衣间与万级区,万级区和百级区均设不锈钢风淋室(airshower),无尘室与户外设立物件进出安全通道传送箱(passbox).当工作人员进到无尘室时,要历经不锈钢风淋室,对身体所需的尘土吹淋,降低工作人员带到无尘室的尘土.传送箱则是对物件尘土开展吹淋,做到尘埃的实际效果.
风系统：
风系统步骤：系统选用的是全新风空调箱+FFU系统.
全新风空调箱构造
FFU:(FANFILTERUNIT)即离心风机和过滤装置
万级区过滤装置选用HEPA,过滤效率99.997%,百级区过滤装置选用ULPA,过滤效率99.9995%
水系统：
水系统步骤：冰水系统分成一次侧和二次侧.
一次侧冰水温度7-12度,提供空调机组和风盘,二次侧冰水12-17度提供干风机盘管系统.
一次侧冰水和二次冰水为2个不一样的控制回路,中间由板式热交换器联接.
板式热交换器基本原理：
干风机盘管:不冷凝水的风机盘管,因无尘室温度在22度,其漏点温度12度上下,故7度冰水不可以直接进入无尘室,因此进干风机盘管的冰水温度在12-14度.
操纵系统(DDC)：
温度:干风机盘管系统操纵
环境湿度:空调机组调整根据传感的数据信号,操纵三通阀开启度来调整空调机组风机盘管进水流量
正压力:空调机组调整,依据负压传感的数据信号,自动调节空调机组电机软启动器的頻率,进而调整进到房间内的排风量.
别的系统：
不只是中央空调系统,无尘室系统中还包含有真空泵,空压,N2,纯净水,污水,二氧化碳系统,工艺排气管系统,
测试标准：
1.气旋速率以及匀称度检验，此项检验是无尘室实际效果的别的各类检验的前提条件，此项检验的目地是以便确立单边流无尘室工作区域的均值气商品流通度以及匀称性。
2.系统或屋子的排风量检验。
3.房间内洁净度的检验。洁净度的检验是以便明确清洁自然环境可做到的气体洁净度级別，可选用颗粒计数器检验。
4.自净作用時间的检验。根据明确自净作用時间，查清净化室內部产生环境污染时修复其原来洁净度的工作能力。
5.气旋流型检验。
6.噪音的检验。
7.光照强度的检验。光照强度检验的目地是以便断定净化室的光照强度水准和光照强度的匀称性。
8.震动的检验。震动检验的目地是以便断定无尘室各说明的震动力度。
9.温、环境湿度的检验。温、环境湿度检验的目地是把温度、环境湿度调节到一定程度内的工作能力。其內容包含检验无尘室的排风温度，检验有象征性测量点的气体温度，检验无尘室定位点的气体温度，检验光敏电阻器处的气体度，检验室内空气质量相对性温度，检验送风温度。
10.总排风量和排风量的检验。
